Полное описание

Д8-94/20282
Зятьков, И. И. Моделирование технологических процессов формирования полупроводниковых структур : учеб.пособие / И.И.Зятьков,Е.П.Юрченко. - СПб : [б. и.], 1994. - 6 c. : ил. - 150 экз. - Б. ц. - Текст : непосредственный.
В надзаг.:Санкт-Петербург.гос.электротехн.ун-т им.В.И.Ульянова(Ленина).Библиогр.:с.66(10 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.13.33	621.315.592.002:669

Рубрики:
Ионное внедрение -- Моделирование

Кл.слова (ненормированные): ионное внедрение -- моделирование
Доп. точки доступа:
Юрченко, Е.П.

Имеются экземпляры в отделах: всего 2 : ХР (2)
Свободны: ХР (2)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽