Полное описание

Д8-94/16852
621.3/Э-456
Элементная база микро-и наноэлектроники:физика и технология : межвуз.сб. / Моск.гос.ин-т электрон.техники (техн.ун-т) ; Под ред.Ю.А.Чаплыгина. - М. : [б. и.], 1994. - 179 c. : ил. - 200 экз. - ISBN 5-7256-0014-9 : Б. ц. - Текст : непосредственный.
Библиогр.в конце ст

ГРНТИ	УДК
47.33.37	621.3.049.76
	621.384-022.532

Рубрики:
Микроэлектронные приборы
Наноэлектронные устройства

Кл.слова (ненормированные): микроэлектронный прибор
Доп. точки доступа:
Чаплыгин, Ю.А.\ред.\
Московский ин-т электронной техники

Имеются экземпляры в отделах: всего 2 : ХР (2)
Свободны: ХР (2)
Заказаны экз-ры для отделов: ФО7, фо18, фо24

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽