Полное описание

Д8-93/16529
Нефедов, В. Г. Физико-химические основы микроэлектроники. Свойства тонких пленок : учеб. пособие / В. Г. Нефедов, Ю. С. Кулешов, О. Б. Гусев. - СПб. : [б. и.], 1993. - 50 c. : ил. - 150 экз. - ISBN 5-230-10302-7 : Б. ц. - Текст : непосредственный.
В надзаг.:С.-Петербург. гос. акад. аэрокосм. приборостроения. Библиогр.:с.49(5назв.)

ГРНТИ	УДК
47.33.37	621.3.049.76-416

Рубрики:
Пленочная микроэлектроника

Доп. точки доступа:
Кулешов, Ю.С.
Гусев, О.Б.

Имеются экземпляры в отделах: всего 2 : ХР (2)
Свободны: ХР (2)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽