Полное описание

Д8-93/12242
Акуленок, М. В. Эпитаксиальные процессы в технологии микроэлектроники : учеб.пособие по курсу "Физ.-хим.основы технологии микроэлектроники" / М.В.Акуленок. - М. : [б. и.], 1993. - 84 c. : ил. - 150 экз. - ISBN 5-7256-0005-X : Б. ц. - Текст : непосредственный.
В надзаг.:Моск.гос.ин-т электронной техники (Техн.ун-т).Библиогр.:с.80-83

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.76.002

Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Производство

Имеются экземпляры в отделах: всего 2 : ХР (2)
Свободны: ХР (2)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽