Полное описание

Д8-92/9578
Перевощиков, В. А. Особенности абразивной и химической обработки поверхности полупроводников : монография / В.А.Перевощиков,В.Д.Скупов. - Н. Новгород : Изд-во Нижегор. ун-та, 1992. - 198 c. : ил. - 1000 экз. - ISBN 5-230-04179-X : 450 р. - Текст : непосредственный.
В надзаг.:М-во науки,высш.шк. и техн.политики Рос.Федерации.Библиогр.:с.189-196(134назв.)

ГРНТИ	УДК
47.33	621.382-047.84

Рубрики:
Полупроводниковые приборы -- Производство

Доп. точки доступа:
Скупов, В.Д.

Имеются экземпляры в отделах: всего 2 : ХР (2)
Свободны: ХР (2)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽