Полное описание
>
Технология полупроводникового кремния / Э.С.Фалькевич,Э.О.Пульнер,И.Ф.Червоный и др.;Под ред. Э. С. Фалькевича. - М. : Металлургия, 1992. - 407 с. : ил. - 1170 экз. - ISBN 5-229-00740-0 (в пер.) : 16.00 р. - Текст : непосредственный.
Авт.указ.на обороте тит.л.Библиогр.: с. 399-407 (298 назв.).
ГРНТИ | УДК | |
47.09.29 | 621.315.592.002 |
Рубрики:
Кремний -- Обработка
Доп. точки доступа:
Фалькевич, Э.С.
Пульнер, Э.О.
Червоный, И.Ф.
>
Имеются экземпляры в отделах: всего 2 : ХР (2)
Свободны: ХР (2)
Заказ фрагмента документа ₽