Полное описание

Д8-90/5669
Калинина, И. С. Вопросы прецизионных тепловых процессов в ЧПП : материалы к 3-ей науч.-техн.конф."Экология микроэлектроники-90" / И. С. Калинина, В. И. Каракеян, Н. Ф. Личу. - М. : [б. и.], 1990. - 96 с. : ил. - Б. ц. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с.96(11 назв.)

ГРНТИ	УДК
75.31.25	697.97

Рубрики:
Стерильные помещения -- Кондиционирование воздуха

Доп. точки доступа:
Каракеян, В.И.
Личу, Н.Ф.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽