Полное описание

Д8-03/94342
Зенин, В. В. Физико-химические процессы в микросоединениях полупроводниковых изделий / В. В. Зенин, Ю. Е. Сегал, Б. А. Спиридонов. - Воронеж : [б. и.], 2003. - 168 с. : ил. - 150 экз. - Б. ц. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Ворон. гос. техн. ун-т.Библиогр.: с. 165-168 (31 назв.).

ГРНТИ	УДК
47.33	621.382

Рубрики:
Полупроводниковые приборы -- Соединения

Кл.слова (ненормированные): полупроводниковый прибор -- соединение
Доп. точки доступа:
Сегал, Ю.Е.
Спиридонов, Б.А.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Заказаны экз-ры для отделов: ХР

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽