Полное описание

Д8-03/91018
Тумаркин, А. В. Технология тонких пленок : текст лекций / А.В.Тумаркин,В.И.Шаповалов. - СПб. : СПбГТУ "ЛЭТИ", 2003. - 64 с. : ил. - 120 экз. - ISBN 5-7629-0512-8 : Б. ц. - Текст : непосредственный.
В надзаг.:С.-Петерб. гос электротехн. ун-т "ЛЭТИ".Библиогр.: с. 63

ГРНТИ	УДК
47.13	621.38-416

Рубрики:
Пленочная электроника

Кл.слова (ненормированные): пленочная электроника
Доп. точки доступа:
Шаповалов, В.И.

Имеются экземпляры в отделах: всего 2 : ХР (2)
Свободны: ХР (2)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽