Полное описание

Д8-01/81272
Жабрев, В. А. Основы субмикронной технологии : учеб. пособие / В. А. Жабрев, В. И. Марголин, В. А. Мошников. - СПб. : СПбГЭТУ "ЛЭТИ", 2001. - 115 с. : ил. - 170 экз. - Б. ц. - Текст : непосредственный.
Библиогр.: с.114

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.771.14.002

Рубрики:
Интегральные схемы большие -- Производство

Кл.слова (ненормированные): большая интегральная схема -- производство
Доп. точки доступа:
Марголин, В.И.
Мошников, В.А.

Имеются экземпляры в отделах: всего 2 : ХР (2)
Свободны: ХР (2)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽