Полное описание

Д8-00/54763
Марголин, В. И. Основы нанотехнологии. Электронная литография и ионная имплантация : учеб.пособие / В.И.Марголин,В.А.Тупик. - СПб. : СПбГЭТУ "ЛЭТИ", 2000. - 55 с. : ил. - 75 экз. - ISBN 5-7629-0297-8 : Б. ц. - Текст : непосредственный.
В надзаг.:С.-Петерб.гос.электротехн.ун-т "ЛЭТИ".Библиогр.:с.54

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.77-047.84:776
	621.315.592.002:669.046.516

Рубрики:
Электронолитография
Полупроводники -- Ионное внедрение

Кл.слова (ненормированные): электронолитография -- ионное внедрение
Доп. точки доступа:
Тупик, В.А.

Имеются экземпляры в отделах: всего 2 : ХР (2)
Свободны: ХР (2)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽