Полное описание

Д7-91/99203
Литовченко, В. Г. Micromechanism of stimulated gettering in semiconductor thin film layered systems / В. Г. Литовченко, B. N. Romanyuk, Yu. V. Kryuchenko. - Kiev : [s. n.], 1991. - 24 p. - 100 экз. - Беспл. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.77-047.84(04)

Рубрики:
Интегральные схемы -- Производство

Доп. точки доступа:
Romanyuk, B.N.
Kryuchenko, Yu.V.
Litovchenko V.G.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽