Полное описание

Д7-91/92852
Физико-химические основы микроэлектроники. Процессы получения пленок : учеб. пособие / В.Г.Нефедов,О.Б.Гусев,Ю.С.Кулешов,О.В.Шакин. - Л. : [б. и.], 1991. - 66 с. : ил. - 0.40 р. - Текст : непосредственный.
В надзаг.Ленингр. ин-т авиац. приборостроения. Библиогр.: с. 65 (6 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.33.37	621.3.049.76-416

Рубрики:
Пленочная микроэлектроника

Кл.слова (ненормированные): пленочная микроэлектроника
Доп. точки доступа:
Нефедов, В.Г.
Гусев, О.Б.
Кулешов, Ю.С.
Шакин, О.В.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽