Полное описание

Д7-91/92141
Автоматизация технологического оборудования микроэлектроники : учеб. пособие для приборостроит. спец. вузов / А.А. Сазонов, Р.В. Корнилов, Н.П. Кохан и др.; Под ред. А. А. Сазонова. - М. : Высш. шк., 1991. - 334 c. : ил. - 11000 экз. - ISBN 5-06-000731-6 : 1.60 р. - Текст : непосредственный.
Авт.указ.на обороте тит.л.Библиогр.: с.332 (12 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.76-047.84-52

Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Производство -- Автоматизация

Кл.слова (ненормированные): микроэлектронный прибор -- производство -- автоматизация
Доп. точки доступа:
Сазонов, А.А.
Корнилов, Р.В.
Кохан, Н.П.

Имеются экземпляры в отделах: всего 2 : ХР (2)
Свободны: ХР (2)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽