Полное описание

Д7-91/91917
621.382/Б 435
Белов, И. А. Моделирование гидромеханических процессов в технологии изготовления полупроводниковых приборов и микросхем / И. А. Белов, В. А. Шеленшкевич, Л. И. Шуб. - Л. : Политехника, 1991. - 288 с. : ил. - 2000 экз. - ISBN 5-7325-0001-4 : 5.00 р. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с.283-286

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.382-047.84
47.33.31	621.3.049.77-047.84

Рубрики:
Полупроводниковые приборы -- Производство
Интегральные схемы -- Производство

Доп. точки доступа:
Шеленшкевич, В.А.
Шуб, Л.И.

Имеются экземпляры в отделах: всего 5 : ХР (2), ФО24 (1), ФО25 (1), ФО26 (1)
Свободны: ХР (2), ФО24 (1), ФО25 (1), ФО26 (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽