Полное описание

Д7-90/90900
Астахова, Н. А. Вакуумно-плазменное травление в технологии ИС : учеб. пособие по курсу "Технология интегральных микросхем" / Н.А.Астахова,Г.И.Глазова. - М. : [б. и.], 1990. - 99 с. : ил. - 250 экз. - 00.30 р. - Текст : непосредственный.
В надзаг.:Моск. ин-т электрон. техники.Библиогр.: с. 97 (7 назв.).

ГРНТИ	УДК
47.13.33	621.3.049.77-047.84:621.794

Рубрики:
Интегральные схемы -- Травление

Кл.слова (ненормированные): интегральные схемы -- травление
Доп. точки доступа:
Глазова, Г.И.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽