Полное описание

Д7-90/78576
Афонин, С. М. Автоматизация обеспечения микроклимата и технологических процессов в чистых производственных помещениях : материалы к 3-й науч.-техн. конф. "Экология микроэлектроники-90" / С.М.Афонин,В.И.Осокин,А.А.Сазонов;Под ред. А. А. Сазонова. - М. : [б. и.], 1990. - 190 с. : ил. - 360 экз. - Беспл. - Текст : непосредственный.
Моск. ин-т электрон. техники. Библиогр.: с. 187-190 (32 назв.)

ГРНТИ	УДК
67.53.25	697.9

Рубрики:
Стерильные помещения

Кл.слова (ненормированные): стерильное помещение
Доп. точки доступа:
Осокин, В.И.
Сазонов, А.А.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽