Полное описание

Д7-90/76036
Физико-химические процессы в микроэлектронике : сб. науч. тр. / Моск. ин-т тон. хим. технологии ; Отв. ред. В. Б. Уфимцев. - М. : МИТХТ, 1990. - 367 с. : ил. + 1 л.ил. - 650 экз. - Б. ц. - Текст : непосредственный.
Библиогр. в конце ст.

ГРНТИ	УДК
47.33.37	621.3.049.76.002
47.13.11

Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Производство

Кл.слова (ненормированные): микроэлектронный прибор -- производство
Доп. точки доступа:
Уфимцев, В.Б.\ред.\
Московский ин-т тонкой хим. технологии им. М. В. Ломоносова

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽