Полное описание

Д7-90/70055
621.3/Р 860
Румак, Н. В. Диэлектрические пленки в твердотельной микроэлектронике / Н.В.Румак,В.В.Хатько;Под ред.В.Е.Борисенко. - Минск : Навука i тэхнiка, 1990. - 191 c. : ил. - 1450 экз. - ISBN 5-343-00540-3 : 1.40 р. - Текст : непосредственный.
В надзаг.:АН БССР. Физ.-техн. ин-т. Библиогр.: с. 181-189 (225 назв.).

ГРНТИ	УДК
47.33.37	621.3.049.76-416

Рубрики:
Пленочная микроэлектроника

Кл.слова (ненормированные): пленочная микроэлектроника
Доп. точки доступа:
Хатько, В.В.

Имеются экземпляры в отделах: всего 5 : ХР (2), ФО20 (1), ФО25 (1), ФО26 (1)
Свободны: ХР (2), ФО20 (1), ФО25 (1), ФО26 (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽