Полное описание

Д7-90/69980
Полтавцев, Ю. Г. Технология обработки поверхностей в микроэлектронике / Ю.Г.Полтавцев,А.С.Князев. - Киев : Тэхника, 1990. - 206 c. : ил. - 4000 экз. - ISBN 5-335-00572-6 : 0.70 р. - Текст : непосредственный.
Библиогр.: с. 197-204 (127 назв.).

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.76.002

Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Производство

Кл.слова (ненормированные): микроэлектронный прибор -- производство
Доп. точки доступа:
Князев, А.С.

Имеются экземпляры в отделах: всего 2 : ХР (2)
Свободны: ХР (2)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽