Полное описание

Д7-89/69436
Рыбкин, В. В. Плазмохимическая технология в производстве полупроводниковых приборов : учеб. пособие / В.В.Рыбкин,В.И.Светцов. - Иваново : [б. и.], 1989. - 96 с. : ил. - 200 экз. - 0.20 р. - Текст : непосредственный.
В надзаг.:Иванов. хим.-технол. ин-т. Библиогр.: с. 92-96 (65 назв.).

ГРНТИ	УДК
47.13.33	621.382-047.84

Рубрики:
Полупроводниковые приборы -- Производство

Кл.слова (ненормированные): полупроводниковый прибор -- производство
Доп. точки доступа:
Светцов, В.И.

Имеются экземпляры в отделах: всего 2 : ХР (2)
Свободны: ХР (2)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽