Полное описание

Д7-89/65857
Физико-химия материалов и процессов в микроэлектронике : сб. науч. тр. / Воронеж.гос.ун-т им.Ленин.комсомола ; Редкол.:Я.А.Угай. - Воронеж : [б. и.], 1989. - 196 с. : ил. - 600 экз. - 1.80 р. - Текст : непосредственный.
Библиогр. в конце ст.

ГРНТИ	УДК
47.33.37	621.3.049.76
47.13.11

Рубрики:
Микроэлектроника

Кл.слова (ненормированные): микроэлектроника
Доп. точки доступа:
Угай, Я.А.\ред.\
Воронежский ун-т им. Ленинского комсомола

Имеются экземпляры в отделах: всего 2 : ХР (2)
Свободны: ХР (2)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽