Полное описание

Д4/24755
Дорфман, В. Ф. Газофазная микрометаллургия полупроводников / В. Ф. Дорфман. - М. : Металлургия, 1974. - 190 с. : ил. - Библиогр.: с. 179-189 (300 назв.). - 2100 экз. - Б. ц. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.09.29	621.315.592-047.84

Рубрики:
Полупроводники -- Производство

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Копия: мкф.

Электронный ресурс
Электронный ресурс

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽

Просмотр издания
или
Просмотр издания