Полное описание

Д11-22/11709
621.3/М 340
Математическое моделирование технологических процессов микроэлектроники : учебное пособие / В. Г. Косушкин, Л. В. Кожитов, С. Г. Емельянов [и др.] ; Минобрнауки России, Юго-Западный государственный университет [и др.] . - Курск : Юго-Западный гос. ун-т, 2022. - 202 с. : ил. - Авт. указаны на обороте тит. л. - Библиогр.: с. 189-190 (7 назв.). - 1000 экз. - ISBN 978-5-7681-1598-2 : 200 р. - Текст (визуальный) : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.76-047.84-047.58

Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Производство -- Моделирование

Кл.слова (ненормированные): полупроводниковые структуры -- ионная имплантация -- кремний -- термическое окисление -- технология полупроводников -- эпитаксиальные процессы
Аннотация: Учебное пособие соответствует Федеральному государственному образовательному стандарту высшего образования по направлениям бакалавриата 28.03.01 "Нанотехнологии и микросистемная техника", 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника", 11.03.03 "Конструирование и технология электронных средств" и магистратуры 28.04.01 "Нанотехнологии и микросистемная техника", 11.04.04 "Электроника и наноэлектроника". Рассмотрены математические модели основных технологических процессов электронной технологии - ионной имплантации, диффузии, термического окисления и эпитаксии.
Доп. точки доступа:
Косушкин, Виктор Григорьевич
Кожитов, Лев Васильевич
Емельянов, Сергей Геннадьевич
Ряполов, П.А.
Попкова, А.В.
Юго-Западный государственный университет (Курск)

Имеются экземпляры в отделах: всего 2 : ХРЦ (2)
Свободны: ХРЦ (2)
Обложка

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽