• ВХОД

    •  

    Полное описание

    Д10-21/90168
    539.2/Ф 503
     Физико-химические основы и технология получения тонких пленок резистивным напылением : учебное пособие : 01.04.07 - Физика конденсированного состояния / И. В. Силаев, И. В. Тваури, Т. Т. Магкоев [и др.] ; научный редактор - Бахтизин Р. З. ; Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Северо-Осетинский государственный университет имени Коста Левановича Хетагурова. - 2-е изд., перераб. и доп. - Владикавказ : СОГУ им. К. Л. Хетагурова, 2021. - 119 с. : ил. - Библиогр.: с. 117-119 (41 назв.). - 300 экз. - ISBN 978-5-00081-376-8 : 100 р. - Текст (визуальный) : непосредственный.
    ГРНТИ УДК
    29.19.16539.23

    Рубрики:
    Пленки -- Производство

    Кл.слова (ненормированные): нанесение в вакууме -- идеальные газы -- вакуммные насосы -- давление разреженного газа -- вакууметры
    Аннотация: Учебное пособие представляет собой 2-е издание переработанное и дополненное одноименного учебного пособия, вышедшего в 2016 году и предназначено для студентов, изучающих вакуумную технику и технологию полупроводниковых приборов. Учебное пособие соответствует федеральным государственным образовательным стандартам высшего образования по направлениям: "Физика конденсированного состояния", "Химия, физика и механика материалов", "Материаловедение и технология материалов", "Металлургия", "Электроника и наноэлектроника", "Нанотехнологии и наноматериалы", "Физика", "Физика полупроводников", "Микроэлектроника". Цель, которую поставили перед собой авторы, состоит в том, чтобы в доступной форме обобщить материал, который накоплен в различных литературных источниках за большой временной период. Авторы сделали попытку взять лучшее из учебников советских времен и из современных изданий и, опираясь на свой практический опыт, изложить материал таким образом, чтобы заинтересовать студентов данной тематикой.
    Доп. точки доступа:
    Силаев, И.В.
    Тваури, И.В.
    Магкоев, Т.Т.
    Радченко, Т.И.
    Сапунова, Н.В.
    Бахтизин, Р.З.\ред.\
    Северо-Осетинский государственный университет имени Коста Левановича Хетагурова (Владикавказ)
    Экз-ры полностью Д10-21/90168
    Имеются экземпляры в отделах: всего 2 : ХРЦ (2)
    Свободны: ХРЦ (2)



    Заказ фрагмента документа ₽