Полное описание

Д10-19/79326
539.2/К 591
Козин, А. А. Магнетрон с горячей мишенью / А. А. Козин, Е. А. Минжулина, В. И. Шаповалов ; Минобрнауки России, Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина). - Санкт-Петербург : ЛЭТИ, 2019. - 213 с. : ил. - Библиогр.: с. 195-209 (274 назв.). - 500 экз. - ISBN 978-5-7629-2580-8 : 100 р. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
29.19.16	539.23
55.22.19	621.793.74.06

Рубрики:
Магнетронные распылительные системы

Кл.слова (ненормированные): неорганические пленки -- защитные покрытия -- металлические мишени -- реактивное распыление -- тепловые процессы
Доп. точки доступа:
Минжулина, Е.А.
Шаповалов, В.И.
Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽