Полное описание

Д10-19/75934
621.31/Р 177
Разработка и моделирование МЭМС-устройств : учебное пособие / А. С. Шалимов, Е. С. Кочурина, В. В. Калугин, С. П. Тимошенков ; Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Национальный исследовательский университет "МИЭТ". - Москва : МИЭТ, 2019. - 144 с. : ил. - Библиогр.: с. 142 (7 назв.). - 100 экз. - ISBN 978-5-7256-0919-6 : 200 р. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
45.53	621.31-181.4

Рубрики:
Микроэлектромеханические системы

Доп. точки доступа:
Шалимов, А.С.
Кочурина, Е.С.
Калугин, В.В.
Тимошенков, С.П.
"МИЭТ", национальный исследовательский университет (Москва)

Имеются экземпляры в отделах: всего 2 : ХРЦ (2)
Свободны: ХРЦ (2)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽