Полное описание

Д10-19/73545
621.3/М 383
Машкина, Е. С. Физико-химические основы технологических процессов микро- и наноэлектроники : учебное пособие / Е. С. Машкина, Л. Н. Владимирова, Е. Н. Бормонтов ; Министерство науки и высшего образования РФ, Воронежский государственный университет. - Воронеж : Издательский дом ВГУ, 2019. - 171 с. : ил. - Библиогр.: с. 171 (6 назв.). - 40 экз. - ISBN 978-5-9273-2895-6 : 200 р. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.76-047.84
47.13.07	621.384-022.532-047.84

Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Производство
Наноэлектронные устройства -- Производство

Доп. точки доступа:
Владимирова, Л.Н.
Бормонтов, Е.Н.
Воронежский государственный университет

Имеются экземпляры в отделах: всего 2 : ХРЦ (2)
Свободны: ХРЦ (2)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽