Полное описание
>
621.382/З-999
Зятьков, И. И. Базовые процессы планарной технологии : учебное пособие / И. И. Зятьков, А. Н. Кривошеева ; Минобрнауки России, Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина). - Санкт-Петербург : ЛЭТИ, 2018. - 62 с. : ил. - (Учебное пособие). - Библиогр.: с. 61. - 82 экз. - ISBN 978-5-7629-2380-4 : 20 р. - Текст : непосредственный.
ГРНТИ | УДК | |
47.13.11 | 621.382-047.84 |
Рубрики:
Полупроводниковые приборы -- Производство
Доп. точки доступа:
Кривошеева, А.Н.
Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина)
>
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)
Заказ фрагмента документа ₽