Полное описание

Д10-18/61941
Нанотехнологии в микро- и наноэлектронике: получение, исследование, моделирование : учебное пособие / И. А. Аверин [и др.] ; под редакцией И. А. Аверина, В. А. Мошникова ; Министерство образования и науки РФ, Пензенский государственный университет. - Пенза : Изд-во ПГУ, 2018. - 78 с. : ил. - Авт. указ. на обороте тит. л. - Библиогр.: с. 77-78 (16 назв.). - 53 экз. - ISBN 978-5-907018-99-0 : 100 р. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.09	621.3.049.76-03(076.5)
	621.384-022.532-03(076.5)

Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Материалы -- Учебники и пособия
Наноэлектронные устройства -- Материалы -- Учебники и пособия

Доп. точки доступа:
Аверин, И.А.
Гузь, А.В.
Мараева, Е.В.
Мошников, В.А.
Пермяков, Н.В.
Пензенский государственный университет

Имеются экземпляры в отделах: всего 3 : ХРЦ (2), ФО19 (1)
Свободны: ХРЦ (2)
(ФО19) занят;

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽