Полное описание

Д10-18/60911
Анализ технологических режимов ионно-плазменного распыления в технологии устройств электроники и радиофотоники : учебное пособие / А. А. Семенов [и др.] ; Минобрнауки России, Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина). - Санкт-Петербург : Изд-во СПбГЭТУ "ЛЭТИ", 2018. - 36 с. : ил. - (Учебное пособие). - Авт. указ. на обороте тит. л. - Библиогр.: с. 35 (14 назв.). - 70 экз. - ISBN 978-5-7629-2340-8 : 20 р. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13	621.384-047.84
47.33.33	621.37/.38

Рубрики:
Электронные приборы -- Производство
Радиофотоника

Доп. точки доступа:
Семенов, А.А.
Белявский, П.Ю.
Никитин, А.А.
Мыльников, И.Л.
Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина)

Имеются экземпляры в отделах: всего 2 : ХРЦ (2)
Свободны: ХРЦ (2)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽