Полное описание
>
Технология материалов микроэлектроники: от минерального сырья к монокристаллу : учеб. пособие / Д. Д. Авров [и др.] ; С.-Петерб. гос. электротехн. ун-т "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина). - СПб. : Изд-во СПбГЭТУ "ЛЭТИ", 2017. - 145 с. : ил. - (Учебное пособие). - Авт. указ. на обороте тит. л. - Библиогр.: с. 141-142. - 116 экз. - ISBN 978-5-7629-1963-0 : 50 р. - Текст : непосредственный.
ГРНТИ | УДК | |
47.09 | 621.3.049.76-03-047.84 |
Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Материалы -- Производство
Доп. точки доступа:
Авров, Д.Д.
Александрова, О.А.
Лебедев, А.О.
Мараева, Е.В.
Таиров, Ю.М.
Санкт-Петербургский гос. электротехнический ун-т "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина)
>
Имеются экземпляры в отделах: всего 2 : ХРЦ (2)
Свободны: ХРЦ (2)
Заказ фрагмента документа ₽