Полное описание

Д10-16/45380
Удовиченко, С. Ю. Пучково-плазменные технологии для создания материалов и устройств микро- и наноэлектроники : учеб. пособие / С. Ю. Удовиченко ; Тюм. гос. ун-т, Физ.-техн. ин-т. - Тюмень : Изд-во Тюм. гос. ун-та, 2016. - 227 с. : ил. - Библиогр.: с. 224-227 (38 назв.). - 110 экз. - ISBN 978-5-400-01349-2 : 260 р. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.09	621.3.049.76-03
	621.384-022.532-03

Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Материалы
Наноэлектронные устройства -- Материалы

Доп. точки доступа:
Тюменский гос. ун-т. Физ.-технический ин-т

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽