Полное описание

Д10-15/32421
Многопараметровая диагностика микро- и наноструктур / Д. И. Биленко [и др.] ; Сарат. гос. ун-т им. Н. Г. Чернышевского. - Саратов : Изд-во Сарат. ун-та, 2015. - 133 с. : ил. - (Материаловедение и технология новых материалов). - Авт. указ. на обороте тит. л. - Библиогр.: с. 129-131 (35 назв.). - 100 экз. - ISBN 978-5-292-04350-8 : 260 р. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
81.09.30	620.22-022.532
47.33.37	621.3.049.76

Рубрики:
Наноструктурные материалы
Микроэлектроника

Доп. точки доступа:
Биленко, Д.И.
Вениг, С.Б.
Терин, Д.В.
Белобровая, О.Я.
Галушка, В.В.
Саратовский гос. ун-т им. Н. Г. Чернышевского

Имеются экземпляры в отделах: всего 2 : ПНТ (1), ХРЦ (1)
Свободны: ПНТ (1), ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽