Полное описание

Д10-13/6273
Процессы микро- и нанотехнологий : метод. указ. к лаб. работам / сост. П. Ю. Белявский [и др.]. - СПб. : СПбГЭТУ "ЛЭТИ", 2013. - 67 с. - Библиогр. в конце ст. - 70 экз. - Б. ц. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Санкт-Петерб. гос. электротехн. ун-т "ЛЭТИ"

ГРНТИ	УДК
81.13.30	620.3

Рубрики:
Нанотехнологии

Аннотация: Рассмотрены основные этапы выполнения лабораторных работ по курсу "Процессы микро- и нанотехнологии". Приведено краткое описание физических моделей, лежащих в основе различных технологических режимов напыления и осаждения металлических и диэлектрических пленок, а так же процессов ионного и химического травления. Приведена методика расчета технологических процессов режимов осаждения пленок, на основе которых составляются рекомендации для реальных технологических процессов. Содержатся необходимые справочные сведения и характеристики элементов для выполнения расчетов.
Доп. точки доступа:
Белявский, П.Ю.\сост.\

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽