Полное описание

Д10-12/4747
Кривошеева, А. Н. Процессы жидкостного химического травления в технологии микросистем. Жидкостное химическое травление полупроводниковых материалов : учеб. пособие / А. Н. Кривошеева, В. В. Лучинин. - СПб. : СПбГЭТУ "ЛЭТИ", 2012. - 118 с. : ил. - Библиогр.: с. 118 (16 назв.). - 35 экз. - ISBN 978-5-7629-1199-3 : Б. ц. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: С.-Петерб. гос. электротехн. ун-т "ЛЭТИ".

ГРНТИ	УДК
47.13.33	621.315.592:621.794

Рубрики:
Полупроводники -- Травление

Доп. точки доступа:
Лучинин, В.В.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободных экз. нет
Экз.Э13-93045 (ХРЦ) занят;