Полное описание

Ар20-853
621.3/К 656
Коняев, И. В. Кинетика и механизмы плазмохимического травления танталата лития : специальность: 05.27.01 - Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Коняев Иван Васильевич. - Воронеж : [б. и.], 2019. - 19 с. : ил. - Библиогр.: с. 18-19 (9 назв.). - 60 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13.33	621.3.049.76-047.84(043)

Кл.слова (ненормированные): микроэлектронные приборы -- микроэлектроника -- плазмохимическое травление -- плазменная обработка
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽