Полное описание
>
537.3/Ч-578
Чжо Наинг Сое. Имитационное моделирование динамических особенностей системы управления технологическим процессом выращивания монокристаллов по методу Чохральского : специальность 05.13.06 - Автоматизация и управление технологическими процессами и производствами (в приборостроении) : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Чжо Наинг Сое. - Москва : [б. и.], 2019. - 24 с. : ил. - Библиогр.: с. 21-24 (15 назв.). - 80 экз. - Текст : непосредственный.
ГРНТИ | УДК | |
29.19.31 | 537.311.322:548.5(043) |
Кл.слова (ненормированные): полупроводниковые кристаллы -- германий -- теория динамических систем>
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)
Заказ фрагмента документа ₽