Полное описание

Ар19-7084
621.315.5/С 466
Скупов, А. В. Моделирование ионно-лучевого легирования гетероструктур "кремний на сапфире" и облучения нейтронами гетероструктур с наноостровками Ge(Si) : 01.04.10 - Физика полупроводников : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук / А. В. Скупов. - Нижний Новгород : [б. и.], 2019. - 23 с. : ил. - Библиогр.: с. 21-23. - 100 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13.33	621.315.592.9-047.84(043)

Кл.слова (ненормированные): полупроводниковые материалы -- ионное внедрение -- кремниевые структуры -- полупроводниковые гетероструктуры -- производство -- кремний-на-сапфире -- влияние ионизирующих излучений
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽