Полное описание

Ар19-6003
621.384/Б 959
Бычков, С. П. Разработка и исследование лучистых нагревательных устройств для вакуумно-термического оборудования : 05.27.06 - Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / С. П. Бычков. - Москва : [б. и.], 2019. - 16 с. : ил. - Библиогр.: с. 16 (6 назв.). - 70 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13	621.384-047.84(043)

Кл.слова (ненормированные): электронная техника -- электронные приборы -- производство -- электронагревательные устройства -- вакуумно-термические установки
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽