Полное описание

Ар19-4097
621.383/Б 129
Бабурин, А. С. Формирование ультрагладких сверхтонких монокристаллических пленок металлов для устройств нанофотоники электронно-лучевым испарением в вакууме : специальность 05.27.06 - Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / А. С. Бабурин. - Москва : [б. и.], 2019. - 16 с. : ил. - Библиогр.: с. 16 (11 назв.). - 70 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.33.33	621.383-022.532-047.84(043)

Кл.слова (ненормированные): нанооптоэлектроника -- нанофотонные структуры и устройства -- производство -- пленочная наноэлектроника -- металлические пленки -- тонкие металлические пленки -- вакуумное испарение
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽