Полное описание

Ар19-2926
621.3/С 719
Спешилова, А. Б. Разработка технологии формирования фоторезистивных пленок прецизионной толщины с минимальной шероховатостью поверхности плазмохимическим травлением : специальность 05.27.06 - Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / А. Б. Спешилова. - Санкт-Петербург : [б. и.], 2019. - 21 с. : ил. - Библиогр.: с. 20-21 (7 назв.). - 100 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13.33	621.3.049.76-047.84:776(043)

Кл.слова (ненормированные): микроэлектронные приборы -- производство -- фоторезисты -- плазмохимическое травление -- микромостиковые структуры
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽