Полное описание

Ар18-8527
Гашев, Е. А. Повышение эффективности доводки и полирования пластин интегральной оптики : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.02.07 / Е. А. Гашев. - Рыбинск : [б. и.], 2018. - 15, [1] с. : ил. - Библиогр.: с. 16 (9 назв.). - 80 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
81.37.13	681.7.023.7(043)

Кл.слова (ненормированные): оптические пластины -- доводка -- полирование -- оптические детали -- интегрально-оптические схемы -- финишная абразивная обработка
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽