Полное описание

Ар18-8509
Андрианов, Н. А. Плазменные процессы в технологии HEMT транзисторов на основе III-нитридов : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.04 / Н. А. Андрианов. - Санкт-Петербург : [б. и.], 2018. - 18 с. : ил. - Библиогр.: с. 17-18. - 100 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.33	621.382.323-047.84(043)

Кл.слова (ненормированные): полевые транзисторы -- плазменная обработка -- нитриды металлов третьей группы -- полупроводниковые материалы -- энергоанализаторы
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽