Полное описание

Ар18-7609
Лашков, А. В. Формирование газоаналитических мультисенсорных микроэлектронных систем на основе термокаталитических и хеморезистивных элементов : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 / А. В. Лашков. - Таганрог : [б. и.], 2018. - 20 с. : ил. - Библиогр.: с. 17-20 (18 назв.). - 100 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
59.35.29	543.27.08(043)

Кл.слова (ненормированные): материаловедение -- микроэлектронное производство -- газовая фаза
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽