Полное описание

Ар18-4485
Зотович, А. И. Деградация нанопористых диэлектриков в высокочастотной плазме и способы ее уменьшения : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.15 / А. И. Зотович ; Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова. - Москва : [б. и.], 2018. - 22 с. : ил. - Библиогр.: с. 20-22. - 60 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.09.31	621.315.61-047.84(043)

Кл.слова (ненормированные): диэлектрики -- плазменное травление -- электронная обработка -- большие интегральные схемы -- межслойные изоляторы -- пористые диэлектрики
Доп. точки доступа:
Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽