Полное описание

Ар18-353
Вирко, М. В. Исследование процесса термической диссоциации нитрида галлия при воздействии инфракрасного лазерного излучения : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.10 / М. В. Вирко. - Санкт-Петербург : [б. и.], 2017. - 22 с. : ил. - Библиогр.: с. 20-22. - 100 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.33	621.315.592.9(043)

Кл.слова (ненормированные): полупроводниковые пленки -- нитрид галлия -- полупроводниковые материалы -- лазерный слайсинг -- лазерное отделение тонких слоев
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽