Полное описание

Ар18-10546
621.31/Э 666
Эннс, Я. Б. Исследование потери устойчивости для нелинейной микромеханической структуры : специальность 05.27.06 - Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Я. Б. Эннс. - Санкт-Петербург : [б. и.], 2018. - 18 с. : ил. - Библиогр.: с. 17-18 (18 назв.). - 100 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
45.53	621.31-181.4(043)

Кл.слова (ненормированные): микроэлектромеханические системы -- упругие подвесы -- тонкопленочные мультистабильные системы
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽