Полное описание

Ар17-8424
Ануров, А. Е. Методы формирования объемных микроструктур устройств микроэлектроники и микросистемной техники космического назначения : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 / А. Е. Ануров. - М. : [б. и.], 2017. - 20 с. : ил. - Библиогр.: с. 19-20 (13 назв.). - 70 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
55.49.51	629.78.05:621.3.049.76(043)

Кл.слова (ненормированные): космические летательные аппараты -- бортовые системы -- микроэлектронные приборы
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽