Полное описание

Ар17-4918
Девицкий, О. В. Получение тонких пленок GaP, AlGaAs и AlGaAsP на подложках Si методом импульсного лазерного напыления и исследование их свойств : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 / О. В. Девицкий. - Новочеркасск : [б. и.], 2017. - 24 с. : ил. - Библиогр.: с. 21-24. - 100 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.09	621.3.049.774(043)

Кл.слова (ненормированные): полупроводниковые пленки -- лазерное напыление
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽